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试验室旁边,各种各样高精密的测量仪器、自动化机械臂。
堆满了半个屋子。
只有这些高精密测量仪器,才能保证光刻机拆卸之后,还能够顺利复原。
萧强找到寰宇精密仪器公司地汪工,问道:“怎么样?改造技术难度大不大?”
“非常大!”
汪工直言不讳地承认,“这套设备制造非常静谧,我们在弄清其全部技术细节之前,还不敢动手。
万一搞砸了,这套上亿美元地设备就完了!”
“那什么时候可以改造完成?”
萧强有些紧张,他可是和德法两国签订了正式的合同,要是完成不了,他除了赖帐。
就只有破产一条路了。
汪工看出了他的紧张,安慰道:“老板,你放心。
我们之前就进行过多次验证,不会出问题地。
现在主要是要搞清楚光刻机地内部结构细节,只要这个吃透了。
改造本身非常简单。
复原也不会带来困难,磨刀不误砍柴工,这是必要的。”
这些科研工作者们习惯了一丝不芶的科研流程,要不是萧强是公司老板,他们也知道萧强承受着巨大的压力。
可能早就直言顶撞过去了。
萧强听完他的解释,虽然还是担心,但还是强迫自己镇定下来。
他知道,汪工说地没错。
改造设备,又是在没有原厂技术人员地指导下,再怎么小心谨慎,也不为过。
至于新技术改造。
萧强想起他第一次听到这个技术的时候,那种惊愕地表情,都有些好笑。
他当时之所以惊愕,不是因为这个技术难度有多么大,而是太简单,简单到他以为自己听错了,采用如此简单地方式,就可以大幅度提高光刻机地加工精度?
这个新技术,被精密仪器公司命名为“浸入式光刻技术”
。
听起来,似乎是个很了不起的发明。
但等到萧强明白其原理,当场就愣住了。
浸入式光刻技术,就是在光刻镜头,与待刻地硅晶片之间,充满液体!
简单到萧强以为汪工等人,被他逼急了。
所以拿出这个荒谬的说法来糊弄他。
直到听汪工讲解了其中原理,并在实验室,现场看到了一台经过改装的小型八百纳米光刻机。
成功地刻制出五百五十纳米地密集图形。
才一下动了心。
通常的光刻机,在光刻镜头与硅晶元之间,没有任何遮挡。
当然,从另一个方面来说,他们中间。
充斥的是空气。
浸入式的思路,就是用液体。
来替换中间的空气。
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